Entwicklung eines magnetisch geführten, planaren Direktantriebs

Der Beitrag stellt ein magnetisches 6D Positioniersystem vor, welches auf einem an der IMMS GmbH entwickelten, planaren 3DDirektantriebssystem aufbaut. Die bisher eingesetzten Luftführungselemente werden im 6DSystem durch eine geregelte, aktive magnetische Führung ersetzt. Dies erfordert zusätzliche Sensorik zum Erfassen der vertikalen Lage. Zusätzliche Aktoren (Spulen) sind jedoch nicht nötig, da mit den bereits vorhandenen 6 Spulen alle Freiheitsgrade im gesamten Fahrbereich kontrolliert werden können. Um den Prozess der Auslegung einzelner Komponenten und der mechanischen Konstruktion optimal zu gestalten, sind umfangreiche Simulationen notwendig. Auf Basis der Simulationsergebnisse entsteht ein System, das die Vorteile des ursprünglichen, direktangetriebenen, planaren Positioniersystems mit denen eines magnetisch geführten Systems vereint.